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USM-E（表面电子显微镜）
一台多功能高性能表面分析仪器，它可以用于原位观测固体材料样品表面生长、相变、扩散、掺杂等动态表面过程扩散等动力学过程。该产品又可以用于全息表面分析系统，实现亚单层灵敏度的测量。在超薄膜生长、二维材料、金属、半导体、磁材料、纳米材料等领域有广泛应用。
规格参数
| 规格 | |
|---|---|
| 阴极 | 肖特基热场发射源/自旋极化发射体 |
| 分辨率 | ≤ 5 nm |
| 视场 | 1 μm – 160 μm |
| 样品温度 | 10 K – 2000 K |
| 真空度 |
自旋极化阴极：≤1x10-11mbar 主腔：≤ 1×10-10 mbar |
成像模式与机制
| 成像模式 |
|---|
| (SP)LEEM |
| (SP)LEED, μ(SP)LEED |
| MEM |
| ps-(SP)LEEM/(SP)LEED |
| 成像机制 |
|---|
| 明场、暗场 |
| 磁性 |
| 量子相位 |
| 反射率 |
| 应用场景：原位CVD生长观察 |
| 应用场景：超薄膜层数标定 |