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ALL半导体电子显微精密电源真空获得
DI-USM（高通量电子束晶圆检测设备）
USM-E（表面电子显微镜）
USM-P（光电子显微能谱仪）
Tof-PEEM（飞行时间动量显微镜）*
微束EUV、X射线光源
场发射电子枪
延迟线探测器*
PREHEAT加热电源
CPS带电粒子集成电源
JWS系列离子泵*